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用于控制由显微镜物镜产生的激光焦点的轴向位置的装置
WOIB20001123 2020-10-29 发明申请
2022-5-5
本发明涉及一种用于控制由显微镜物镜(5)产生的激光焦点(6)的轴向位置的装置(10), 包括: 用于发射激光束(3)的激光源(2), 可变形反射镜(4),用于沿轴向聚焦或散焦激光束(3); 显微镜物镜(5),用于将来自可变形镜(4)的激光束(3)聚焦在激光焦点(6)上; 其特征在于,它还包括用于使由激光源(2)发射的激光束(3)多次通过可变形反射镜(4)的系统(7)。
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