| 协调信使和协调程序 |
| DE102020206870 2020-6-2 发明申请 |
| 2020-12-10 |
| 坐标测量机包括表面板。 探针移动体20； 沿探针移动体20的移动方向的INC图案42和ABS图案43； 根据基于INC模式42的移动量输出多个波形信号的INC检测器45。 ABS检测器46，其响应于请求信号，基于ABS图案20输出探头移动体43的绝对位置信号； 以及具有对由INC检测器45输出的波形信号进行计数的INC计数部分51的控制器50。 位置信息提取部分读取探头检测工件时的计数值； 以及预置部分54，其将请求信号发送到ABS检测器46以获得绝对位置信号，并将计数部分51设置为该绝对位置信号。 |
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