| 精度转移设备 |
| EP12185070 2012-9-19 发明申请 |
| 2013-3-27 |
| 本发明包括 : 一底座; 一个台通过所述底座支承; 一个管状杆41连接到该表的一个侧通过一接头6; 一驱动机构使该杆41向前和向后移动; 和一个激光干涉仪，其检测所述表的相对位移到所述基座。该接头6被设置通过一供应-排出静态-压力接头，包括 : 一个运动表面63，其是连接。以所述表31和所述表31是正交到一个移动的方向; 一个驱动表面64，其被连接到所述杆41和面向所述移动表面63; 和一流体供应通道66供应流体到一静态-所述移动表面63之间的间隙65的压力和所述驱动表面64。所述激光干涉仪包括一个激光路径56具有一个光学轴线沿所述移动方向使通过所述所述的其中一压力杆41的内部被降低和所述驱动表面64和反射在所述移动表面63。 |
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