| 精密传送设备 |
| US13612972 2012-9-13 发明申请 |
| 2013-3-21 |
| 本发明包括 : 底座； 由底座支撑的桌子； 管状杆，所述管状杆经由接头连接到所述台的一侧； 向前和向后移动杆的驱动机构； 以及激光干涉仪，其检测工作台相对于基座的位移。 所述接头由供排静压接头提供，所述接头包括 : 运动表面，所述运动表面连接到所述工作台并且与所述工作台的运动方向正交； 驱动表面，所述驱动表面连接到所述杆并面对所述运动表面； 以及流体供给通道，其将流体供给到所述运动表面和所述驱动表面之间的静压间隙。 所述激光干涉仪包括激光路径，所述激光路径具有沿移动方向的光轴，所述光轴穿过所述杆的内部和所述驱动表面，所述杆的内部的压力减小，并且所述激光路径在所述移动表面上反射。 |
微信公众号