| 一种深紫外的显微镜成像物镜及其可见光装校方法和结构 |
| CN202210186969.7 2022-2-28 发明申请 |
| 2022-4-29 |
| 本发明公开了一种深紫外的显微镜成像物镜及其可见光装校方法和结构；本发明其和筒镜配合使用，与筒镜分立在光瞳两侧；其等效数值孔径为0.75~0.85，工作波长为190~200 nm，等效焦距为3?8mm，放大率为100?200倍，成像于无穷远；其由沿着光轴顺序排列的6片球面镜片组成：第一、二、三、四、五和六镜片，其中第一、二、四、六镜片为正透镜，第三、五镜片为负透镜。本发明的物镜可以应用于半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，其检测缺陷的分辨率可以达到58~64纳米或者更小。此外本发明还通过增加一片筒镜，实现镜片装校在可见光波段进行，大大降低装校的难度与紫外光泄露等危险性。 |
微信公众号