坐标测量机中使用的掩模,具有标记用于确定掩模和展示旋转的旋转位置和非旋转结构元件,其表示非旋转对称的图形
 
DE102007000973  2007-11-5  发明申请

2009-5-14
 
  一掩模(22)是由至少一个标记(30)用于所述确定的所述转动所述掩模的情况(22)露出,通过该事实标记,即那些具有至少一个标记(30)在所述的掩模(22)在至少两个结构部件(31),它表示一个不turningsymmetrical图(32)。它是还一种过程用于调节所述翻情况的一个盘形衬底(2)的泄露,由此所述基板(2)至少一个标记(30)覆盖,其具有至少两个结构部件(31),其表示一不turningsymmetrical图(32)。
 
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