产业集群信息网

产业专利数据

用于所述测量的光学像差的校正过程的一个坐标测量机

DE102007033345 2007-7-16 发明授权

2009-7-16

一个用于校正误差的方法的一种坐标测量机的所述成像系统被公开。所述至少两个不同的位置在一衬底上的至少一个结构的边缘被测量。所述衬底可以被自动转动到另一取向。然后该所述至少两个不同的位置上被测量的所述至少一个结构的边缘所述旋转基板。基于所述测量数据，该成像系统的一个系统的误差被消除。