| 激光跟踪干涉仪 |
| DE102014209379 2014-5-16 发明申请 |
| 2014-11-27 |
| 一包括一滑架与第第一激光跟踪干涉仪的方式计，所述输出基准球与相关联的一个相对位移通过一行程信号，一个第二的后向反射器被设置在所述鞍形，一个激光干涉仪，该输出被设置在所述滑动和一第一和第二之间的相对位移的后向反射器相关联的路径信号后向反射器; 和一个数据处理器，一相对位移的第一具有相对于所述retroreflectorreference的球基于所述从第一输出从所述激光干涉仪输出的方式计的行驶信号和所述计算的路径信号。 |
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