| selfadjusting激光干涉仪 |
| DE602009000057 2009-4-22 发明授权 |
| 2010-8-19 |
| 本发明提供了一种跟踪式激光干涉仪，其中一激光束照射到一后向反射器10，或一待测物体，从激光干涉仪24安装在滑架22设置，以便转动围绕一转动中心，其被固定和放置，所述反射的激光束在返回方向的干扰通过所述后向反射器10是用来检测一检测到所述后向反射器10和一个跟踪的偏差位移作为位置所述激光束的光学轴的变化是用于进行跟踪，从而控制所述的旋转所述滑架22，和所述跟踪型激光干涉仪是提供具有一个伺服机构，其具有用于添加一种跟踪偏差“LF，以获得一个信号乘以一个相对角位移的一个所述滑架22通过一个标称值K的Mn一转换因子km，从而计算一个估计值LC×所述后向反射器10的位移的，装置，用于乘以所述估计的所述后向反射器的位移值的LC×10通过一补偿增益KF，它被给定为0 |
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