| 跟踪型激光干涉仪 |
| EP09158412 2009-4-22 发明申请 |
| 2009-10-28 |
| 本发明提供了一种跟踪式激光干涉仪，其中一激光束照射到一后向反射器10，或一待测物体，从激光干涉仪24安装在滑架22设置，以便转动围绕一转动中心，其被固定和放置，所述反射的激光束在返回方向的干扰通过所述后向反射器10是用来检测一检测到所述后向反射器10和一个跟踪的偏差位移作为位置所述激光束的光学轴的变化是用于进行跟踪，从而控制所述的旋转所述滑架22，和所述跟踪型激光干涉仪是提供具有一个伺服机构，其具有用于添加一种跟踪偏差ΔLF，以获得一个信号乘以一相对所述滑架22的角位移Θ一通过一标称值的转换因子Kmnkm，从而计算一个估计值的lc*所述后向反射器10的位移; 装置，用于乘以所述的估计值lc*所述后向反射器10的位移由一补偿增益Kf其被给定为0 |
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