成像式X射线显微镜
 
US17501378  2021-10-14  发明申请

2022-4-28
 
  本发明提供一种成像型X射线显微镜,该成像型X射线显微镜即使在高能X射线下也能够扩大数值孔径,并且即使在实验室中也能够获得具有足够强度的放大图像。 该成像型X射线显微镜包括:X射线照射单元,具有微焦点和高功率X射线源;和聚光镜,用于将发射的X射线聚焦并照射到样品上; 样品保持单元,用于保持样品; 反射镜型X射线透镜单元,用于对透过样品的X射线进行成像; 以及用于获取成像的X射线图像的成像单元,其中构成聚光镜和反射镜型X射线透镜单元的每个反射镜具有由在特定波长的X射线中具有高反射率的多层膜形成的反射表面。
 
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