| 跟踪激光干涉仪 |
| JP2009100620 2009-4-17 发明申请 |
| 2009-12-3 |
| 要解决的问题 : 以提供一个跟踪激光干涉仪与最快的跟踪速度。溶液 : 该跟踪激光干涉仪24被安装在滑架22周围设置，以便转动所述固定旋转中心，其照射激光束朝向一后向反射器10和使用所反射的激光束的干扰在返回方向，以检测所述后向反射器的位移，同时该支架上，以使跟踪控制的旋转偏转检测作为在所述激光束的光轴位置的变化可以被使用，以实现跟踪。它包括一个伺服机构，其包括一信号的所述通过相乘的所述滑架的相对角度位移Θ一个标称值转换系数KM的Kmn，位移的装置，用于计算估计lc*在所述后向反射器通过加入该跟踪偏移ΔLF，装置，用于乘以估计所述后向反射器的位移通过补偿增益Kflc*(0 |
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