| 硬度测试仪 |
| JP2009143317 2009-6-16 发明申请 |
| 2011-1-6 |
| 要解决的问题 : 提供一种硬度测试仪能检测焦点点匹配的位置,即使当一个积聚是形成在所述样品的凹部形成由穿透器。溶液 : 该硬度测试仪100是配备与一个AF(z)级4和一个升降机构部5,两个其中一个样品台2在向上和向下移动方向和所述样品架之间的相对距离改变2和一个物镜15,一个CCD摄像机12用于成像所形成的凹部到所述表面的所述样品S; AF值计算程序6a所述凹部3a,用于计算该AF的值由该CCD成像摄像机12在每个时间,当所述样品台2通过该AF(z)是移动级4和所述升降机构部分5; AF值存储部63b允许所述样品台2移动所述的位置通过所述CCD照相机12,该AF该样品台2的值在该位置到对应于存储它们; 和一个确定程序6a3D所述凹部,用于确定所述的焦点位置,所述的基础上的预定条件。一最小值的聚焦匹配条件,确定该AF值的曲线最小值作为所述聚焦所述凹部匹配的位置被包含在所述预定条件。版权 : (C)2011,inpit |