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跟踪式激光干涉仪

JP2013109550 2013-5-24 发明申请

2014-12-8

一种追踪式激光干涉仪具有车厢设置有第一位移计输出位移信号相关联从参考球相对位移，提供给一个第二反光镜的车厢上; 激光干涉仪提供给拖板和输出位移与第一之间的相对位移相关联的信号回射器，第二回射器; 和第一反光镜的数据处理器计算位移与参考以基于参考球位移信号输出从第一位移计和位移信号输出从激光干涉仪。