| 盒式磁带适配器 |
| KR1020110087497 2011-8-31 发明授权 |
| 2018-6-8 |
| 本发明和数量，接收直径300的使用数量相对应的晶圆盒装载口1，2号直径200的圆形晶片盒接收所述可利用的方法。其它包括本发明的数目，300直径圆晶片的接收载波的基数1的盒式磁带适配器，焊接对应的负载端口，所述晶圆盒装载口(200)直径的圆形接收的安装数量2，...号[数2]就座传感器机构通过其左盒上正确的位置检测方法。接收号码1的300晶片盒(K1)相对应，所述第1盒(K1)与托架基座(5)上的锁锁气缸(构件)(14)与装载口(P)，200晶片盒容2号(K2)安装可锁定命令，所述托架基座(5)安装在盒式磁带适配器(A)，盒式磁带适配器(A)上，所述托架基座(5)安装在转接座(V)，(v)可旋转地安装到所述转接座通过观察时，由L型转接器本体由侧(D)，所述适配器本体的背面，(d)，(e)构成的转接板，所述转接座(v)所述气缸下方设有锁(14)，负载(13)的锁爪的尖端(12)可移动地连接到所述相对数量，所述载体本体(5)相对于所述适配器主体固定(d)使其疲劳大型构件(35)置于一体，彼此。编号为1，300晶片，以接收数字1盒(K1)的所述负载的端口(P)用于与托架基座(5)安装，以接收该2号2号为200的晶舟(K2)和用于安装盒适配器，(e)(d)所述适配器本体的背面的转接板，所述转接卡盒支撑体(D)倾斜(b)从展开位置(90°-θ)(e)用于水平放置，转接板通过止动螺栓(33)上转动，所述托架基座(5)安装盒号1的就座传感器(S1~S3)操作的特定的一个，转接板(E)的简易水平位移传感器致动螺栓(34)分别安装，(e)所述转接板的上表面上，所述多个号码(1)安装在就座传感器(S1~S3)期间，所述致动螺栓(34)致动的由特定数量...暗盒的就座传感器(S1)[1]剩余数量1用盒的数量的就座传感器(s2，S3)无效化的状态，所述转接板的上表面(e)的2号盒(K2)被设定到正确的位置上它是在左支座紧密的多个传感器用于检测2号磁带盒(S4，S5)由2000年。 |
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