| 激光干涉仪 |
| US12851192 2010-8-5 发明申请 |
| 2011-2-24 |
| 本发明提供了一种使用激光束干涉的高测量精度的激光量规干涉仪，包括 : 测量干涉仪，产生与移动部件的位移相对应的测量输出； 和校正干涉仪，该校正干涉仪以恒定的基准间隔产生与空气折射率的变化相对应的测量输出。 算术处理装置计算校正了空气折射率变化的影响的测量目标位移量。 来自校正干涉仪的校正激光束通过测量干涉仪，从而在与来自测量干涉仪的校正激光束的光路相同的光路上行进，以成为与测量激光束通过的空气的折射率的变化相对应的干涉光，然后进入算术处理装置。 |
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