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用于复杂表面测量的白光光学轮廓仪

US12966877 2010-12-13 发明申请

2012-6-14

一种白光光学轮廓仪，具有测量头，该测量头通过光纤束与基座单元分开。测量头包含迈克尔逊物镜，其参考路径被折叠以使得测量头可以是紧凑的。测量头还包括倾斜镜，该倾斜镜将光从感兴趣的表面引导到物镜，并且可以被调节以允许测量头扫描复杂的表面。底座单元包含轮廓仪的其它元件，例如图像检测器和照明器。