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激光跟踪干涉仪
US14280743 2014-5-19 发明申请
2014-11-27
一种激光跟踪干涉仪,具有设置有第一位移计的滑架,该第一位移计输出与来自参考球面的相对位移相关联的位移信号; 设置到所述托架的第二回射器; 激光干涉仪,提供给所述托架,并输出与所述第一回射器和所述第二回射器之间的相对位移相关联的位移信号; 以及数据处理器,基于从所述第一位移计输出的位移信号和从所述激光干涉仪输出的位移信号,计算所述第一回射器相对于所述参考球面的位移。
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