| 轮廓测定仪 |
| DE102013009175 2013-5-31 发明申请 |
| 2013-12-5 |
| 一种分布测量仪器包括 : 一个其位置相对于工件的固定部件具有一个表面到被轮廓测量的被固定，一个扫描中所述固定部件和可动部件支撑的一个扫描方向沿所述所述工件的表面相对于所述固定构件，一激光干涉仪，其检测所述的表面的一位移所述工件沿该扫描方向上。该激光干涉仪包括 : 一偏振分束器提供给所述扫描元件，一参考反射镜固定到所述固定构件，一种测量光路从所述偏振分束器延伸到所述工件; 参考光学路径从所述偏振分束器延伸到所述参考反射镜。一种光学路径长度之间的差。所述测量的光学路径和所述参考光路的光学路径长度是一预定容许误差或更小。 |
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