| 激光干涉仪。 |
| EP93203575 1990-11-20 发明申请 |
| 1994-7-20 |
| 一激光干涉仪使用一种声-光调制的激光(100)，以产生一个对频移的正交极化的光束。该光束被向下传送一单模，偏振保持光纤(110)中，以便发送该光束以一种空腔(148)。该光束被分离在偏振光分束器(128)和指向下测量臂(130)和参考臂(132)。一个干涉仪的。所述之间的差拍频率被检测反射光束在光检测器(146)，它输出一个测量信号(152)。这种相比是差拍频率到所述前所述光束进入所述干涉仪的差拍频率，其被导出通过提供一个半镀银镜(114)和干扰所述光束的偏光片(116)在所述路径上的光束干涉仪以产生一参考信号(126)。所述测量和参考信号进行比较以确定所述所测量的所述干涉仪的臂运动。该基准信号确定所述的方法使该装置不易受温度变化。 |
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