| 光学显微镜激光加工的动态能量和光斑尺寸调整方法 |
| US17076464 2020-10-21 发明申请 |
| 2022-4-21 |
| 利用光学显微镜进行激光加工的动态能量及光斑尺寸调整方法，应用于一激光加工机台，该激光加工机台包括一控制台、一计算模块、一激光源、一光束调整单元、一检流计扫描器、一光传感器、一视觉模块、一F-theta透镜、一分束器及一物镜。 所述激光源产生穿过所述光束调整单元的激光束以形成激光加工光束，所述激光加工光束进一步穿过所述振镜扫描器、所述F-theta透镜、所述分束器和所述物镜以聚焦在工作平面上。 所述分束器分别将部分激光加工光束引导至所述视觉模块和所述光传感器。 视觉模块和光传感器配合计算模块识别/测量并记录激光加工光束的能量和光斑尺寸，作为激光加工过程中的动态调整基准。 |
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