| 一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜 |
| CN201510755115.6 2015-11-9 发明申请 |
| 2016-1-20 |
| 一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜，涉及光学镜头设计领域，包括：光阑和镜头组分；干涉仪发出可见光波段任一波长的入射光，通过光阑后，使入射光的口径与镜头组分的口径匹配；镜头组分将入射光会聚在镜头组分参考面的球心位置。镜头组分为透明玻璃，数量为3-5片不同于现有商业化产品只工作在单波长即632.8nm的特点，宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜可工作于可见光波段的任一波长，满足4英寸至12英寸不同入射口径菲索激光干涉仪的使用要求，扩展单波长标准参考镜的检测能力。 |
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