| 外差激光干涉仪用于测量晶片级的平行位移 |
| JP2005139718 2005-5-12 发明申请 |
| 2005-12-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一种装置用于测量一平行位移的一个阶段使用廉价的测量平面反射镜。溶液 : 系统100，200，用于沿第一轴线的位移测量包括一装置102可移动至少沿第二轴垂直，以第一轴，所述测量的反射镜110，210连接到所述装置在一角度较大的比为相对于第一°轴，和干涉仪101，201提供与分束器106。所述分光器将输入光束105成一个测量光束FA和一个参考束FB，引导所述测量光束到所述测量的反射镜通过至少两个路由，和将所述测量光束穿过在与所述参考光束的至少两个路由到作为输出光束119，219。所述测量光束传播通过所述路由不平行，以第一的至少外轴干涉仪。 |
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