| 激光干涉仪 |
| EP22175286 2022-5-25 发明申请 |
| 2022-11-30 |
| 本发明提供一种激光干涉仪，包括：光源，被配置为发射激光； 分光器，被配置为将激光分成第一光路和第二光路； 激光从光源发射， 设置在第一光路或第二光路上的光调制器， 包括当施加电流时振荡的振荡器， 以及被配置为通过使用振荡器来调制激光， 感光器，被配置为接收激光并输出感光信号； 激光被设置在第一光路或第二光路上的被测物体反射， 以及解调电路，被配置为解调， 从光接收信号中， 从待测物体导出的多普勒信号， 基于参考信号和调制信号，其中满足Iq/f<1×10-7，其中施加到正在振荡的振荡器的电流的幅值为Iq[a]，并且振荡器的振荡频率为F[Hz]。 |
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