| 激光干涉仪 |
| GB9906494 1999-3-23 发明申请 |
| 1999-5-12 |
| 用于制造装置和引导一光束，在特定的用于一激光干涉仪，包括一激光具有一激光管(100)和一个外部腔(112)。两个激光束(110a‘和110aB’)的正交偏振状态是针对从所述空腔到偏振保持光纤(12，14)。所述两个光束被从一个单光束产生的(110)。通过一双折射棱镜(120)所述空腔中。附加的光束转向棱镜(1a30a和30b)被包括到直接该光束从所述的双折射棱镜与所述纤维。所述额外的转向棱镜用于温度补偿引起的光束的偏差在所述双折射棱镜，干涉式传感头(20，22)接收该光束从所述纤维和包括一可旋转的楔形棱镜和机械调整装置，用于导引所述光束投射到反射表面一个对象上用于定位所述对象。所述的端部该纤维附着到所述传感头是在运动学上位于所述头中。 |
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