| 激光干涉仪 |
| JP2008306215 2008-12-1 发明申请 |
| 2010-6-10 |
| 要解决的问题 : 提供一激光干涉仪能够适当的测量的位移的一对象的待测得的，即使如果该对象的移动。溶液 : 所述激光干涉仪1包括 : 一个用于发射激光的激光光源2与其中心波长的光稳定通过调制激光的光通过一个调制信号具有一预定频率; 一个参考反射镜4; 一种测量反射镜5; 和一位移检测器6用于检测所述基于所测量的反射镜5上的位移的干扰光所反射的光通过所述参考镜4和所测量的反射镜5。该位移检测器6包括一个干涉条纹采集装置61用于获取所述波的数目的干扰该干扰光中的条纹，一种用于获取一波长的波长采集装置62所述激光的光，和一个位移计算装置65，用于基于所测量的反射镜5所述位移计算在所述的波的数目该干涉条纹和所述所述激光光的波长当该干扰条纹的所述波的数目是获得的。版权 : (C)2010，inpit |
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