| 所述三个三维坐标测量机 |
| JP2012092869 2012-4-16 发明申请 |
| 2013-10-28 |
| 要解决的问题 : 结构简单，高精度可以在所述的一种低制造成本被制造的三-维坐标测量机，液 : 和所述底座11，设置在所述底座1和一轴移动机构70，一种第一轴1通过移动机构第一移动部131第一上设置的轴2和所述移动机构，和一个第二轴的第一22通过移动机构设置在所述移动部分3和所述轴向运动的机构，被提供，所述第一的轴向运动机构1，使用一种机械轴承，线性导向件22，23a，23b，以1和，设置在平行于所述直线导轨和所述空气轴承滑动导向部83和，所述空气支承滑动导向部和沿一移动部82移动，被提供，第二移动部1，一个其是由一移动的线性导向，一种线性移动单元23a; 23b连接到，其它空气移动部分被安装在一个它可在三个三维坐标测量机的方式。选择的绘制 : 图5 |
微信公众号