| 测量 |
| JP2012125064 2012-5-31 发明申请 |
| 2013-12-12 |
| 要解决的问题 : 扫描运动消除了错误的时间，以一种可消除死路径引起的误差，减少所述所测量的区域和形状限制。溶液 : 该形状测量装置10，该形状应该被测量的相对向该工件1具有一表面2上的固定部件11和具有一固定位置，所述固定部件11具有相对于所述固定部件11被支撑在所述工作1和沿所述的表面移动构件12和与所述扫描方向，沿所述扫描方向的所述工作1用于检测所述位移所述的表面2至20和具有一个激光干涉仪，20所述激光干涉仪，扫描部件12和一个偏振光束分束器221，其被固定到所述固定部件11和一个参考反射镜23，从所述偏振分束器221的PM和所测量的光学路径向工件1，引导到一个参考反射镜23从所述偏振分束器221具有一个Pr和所述参考光路径，所述的光学PM测量的光学路径所述光学路径长度的路径长度LR(=lr1+lr2)PrLm和参考光程差为小于一预定容许误差，将选择的绘制 : 图1 |
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