一种坐标测量机的检测头
 
JP02270683  1990-10-11  发明授权

2000-4-24
 
  本发明涉及一种所谓的测量型探针头,其具有刻度,该刻度提供与探针在偏转状态下的位置成比例的信号。 探针支架是探针头的可移动部分,间接地安装在至少三个中间体上,中间体又在探针头的固定部分或容纳部分中线性地被引导。 由于直线导轨的对称布置和相同质量的中间体,同样的惯性响应表征了探测器在空间所有方向上的偏转。 因此,在探针头的动态操作中,如在连续扫描工件轮廓的过程中,工件接触力与坐标方向无关。
 
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