| 激光干涉仪 |
| US17411281 2021-8-25 发明申请 |
| 2022-3-3 |
| 一种激光干涉仪，包括发射第一激光的光源， 光调制器，其包括振动器，并通过使用振动器来调制第一激光，以产生包括调制信号的第二激光； 光检测器，其接收第三激光和第二激光之间的干涉光以输出光接收信号，所述第三激光包括通过在物体上反射第一激光而产生的样本信号； 解调电路，其基于参考信号从光接收信号解调采样信号； 以及信号发生器，其输出输入到解调电路的参考信号，并输出输入到光调制器的驱动信号，其中Vd/Vr<10，其中Vr是参考信号的电压，Vd是驱动信号的电压。 |
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