产业专利数据
 
Z级结构及其应用
 
US12609262  2009-10-30  发明申请
2011-5-5
 
  提供了一种载物台结构，其中陶瓷板用作Z载物台主体以减少金属板在常规结构中的使用，使得Z载物台的紧凑结构可以减少Z载物台的振动运动。 此外，使用两个激光干涉仪来检测沿着Z级侧壁的垂直线的不同点的移动，以计算样品表面的移动，从而可以更准确地检测样品表面的水平移动
 
Copyright © 广东省科技图书馆（广东省科学院信息研究所）  
粤ICP备05059360号-1 详细地址：广州市先烈中路100号        
联系电话：020-37656525 咨询邮箱：stlib@stlib.cn
  •  

  • 微信公众号

仿站