| 轮廓测量仪 |
| US13903472 2013-5-28 发明申请 |
| 2013-12-5 |
| 一种轮廓测量仪，包括 : 固定构件，其相对于具有要轮廓测量的表面的工件的位置被固定； 扫描构件，所述扫描构件由所述固定构件支撑并且能够沿所述工件的表面相对于所述固定构件在扫描方向上移动； 激光干涉仪，其检测所述工件的表面沿所述扫描方向的位移。 所述激光干涉仪包括 : 偏振分束器，设置于所述扫描构件； 基准反射镜，其固定到所述固定构件； 测量光路，所述测量光路从所述偏振分束器延伸到所述工件； 以及从偏振分束器延伸到参考反射镜的参考光路。 测量光路的光路长度和参考光路的光路长度之间的差是预定的容许误差或更小。 |
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