| 使用两束激光束之间的频率差测量距离的激光干涉仪 |
| US07614159 1990-11-16 发明授权 |
| 1993-12-28 |
| 一种激光干涉仪，使用声光调制激光器(100)产生一对正交偏振频移光束。 光束沿单模保偏光纤(110)向下传输，以便将光束传输到腔(148)。 光束在偏振分束器(128)处分离，并向下指向干涉仪的测量臂(130)和参考臂(132)。 在输出测量信号(152)的光检测器(146)处检测反射光束之间的拍频。 将该拍频与入射干涉仪之前的光束拍频进行比较，该拍频是通过在干涉仪的光束上行光束的路径中提供半镀银反射镜(114)和干涉偏振片(116)以产生参考信号(126)而获得的。 将测量信号和参考信号进行比较，以确定干涉仪测量臂的运动。 这种确定基准信号的方法使得设备对温度变化不太敏感。 |
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