| 与受控的单轴机械手的顺应性 |
| WOUS03011466 2003-4-14 发明申请 |
| 2003-10-30 |
| 一种半导体测试系统，其包括一测试器(150)，一材料处理单元(100)和一个机械手，其位置所述相对于所述材料试验机处理单元(100)。该机械手是在所形成的一车，其可以被轮到所述材料处理单元。该车被连接到所述材料处理单元(100)，以提供所述测试仪的过程中定位相对于所述处理单元。所述测试头被约束的主运动到一轴垂直于所述所述材料的配合接口处理单元。然而，顺从运动，与多达六个自由度，投诉区附近的所述处理程序中是可能的。在这种方式，该测试仪上对准单元和材料处理单元可以精确地控制所述的最终定位所述测试器相对于所述材料处理单元。 |
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