| 一种用于扫描电镜细小试样的固定装置 |
| CN202122268531.7 2021-9-17 实用新型 |
| 2022-4-19 |
| 本实用新型涉及电镜检验设备领域,公开了一种用于扫描电镜细小试样的固定装置,包括样品台,所述样品台的内部等间距开设有六种圆形孔洞,且每种圆形孔洞皆设置为大小相同的两个,六种所述圆形孔洞包括第一插孔、第二插孔、第三插孔、第四插孔、第五插孔以及第六插孔。本实用新型中通过在一个样品台上开设六种规格的圆形孔洞,能一次性放置多个不同拉拔阶段断裂的断口试样,不用来回对样品室进行放气、抽真空,提高了检验效率,而对于带有弧度的断口试样,可通过将样品台在一定范围内关于平台调整倾斜角度,从而确保断口的断面尽量在一个水平面上,进而有效提高分析准确性和工作效率。 |