| 光源中心波长的测量方法及测量装置 |
| CN202310501801.5 2023-5-6 发明申请 |
| 2023-6-6 |
| 本公开描述一种光源中心波长的测量方法及测量装置，测量方法包括：使用光源发出测量光束至待测样品；控制驱动模块以预设步长驱动干涉物镜移动的同时同步控制采样模块对待测样品进行均匀采样；构建采样帧数和形成每帧图像的光干涉信号的关系曲线，并对每帧图像的光干涉信号进行数字正交解调以得到在每帧图像处关系曲线的幅值和相位；构建关系曲线的包络高斯曲线，并获得包络高斯曲线的峰值位置；在峰值位置拟合多帧图像的图像帧序和在每帧图像处关系曲线的相位的拟合斜率，根据拟合斜率求出光源的中心波长。由此，通过该测量方法，能够在测量装置上直接测量并校准光源的中心波长，能够提升测量的效率和便捷性。 |
微信公众号