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3
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4
生物医药产业抗体药物专利
坐标测量机。
EP90120759 1990-10-30 发明申请
1991-5-8
具有扩展的坐标测量装置测量体积。所述扩展的尺寸工件上测量用于测量体积是提供通过一个附着在载体板(15),在之间的滑动至少2定义的位置相对于该表(1)的所述坐标测量装置。该位置该载体板的阶段中用于测量其尺寸。Pref。该载体板(15)是通过一种相关联的气动移动驱动器(13)包含在一个信道(12)的所述表(1)。
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