| 包括等离子体发生器的带电粒子束如电子显微镜的装置及其方法 |
| US17644789 2021-12-17 发明申请 |
| 2022-4-14 |
| 本发明提供一种带电粒子束装置，例如电子显微镜，其包括用于选择性地清洁BSE检测器和BF/DF检测器的柱内等离子体发生器。 在各种实施例中，等离子体发生器位于物镜的下极片和BF/DF检测器之间，但是位于带电粒子从样品台到BF/DF检测器的轨迹区域之外。 经常地和选择性地用原位产生的等离子体清洁探测器表面上的分解的生物样品或污染物可以防止探测器性能恶化，例如在高放大倍数的成像中丧失分辨率和对比度。 |
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