| 基于双线扫描相机的单光束三自由度激光干涉仪 |
| JP2022027057 2022-2-24 发明申请 |
| 2022-9-22 |
| 本发明公开了一种基于双线扫描数码相机的单光束三自由度激光干涉仪，属于激光应用技术领域。 根据本发明， 单频激光束输入迈克尔逊干涉结构， 测量光束和参考光束受到非同轴干涉，通过设定参考平面镜的角度，形成单光束空间干涉条纹图像， 利用双线扫描数码相机有效接收单光束空间干涉条纹图像。 最后通过三自由度解耦方法实现单光束空间干涉条纹图像每帧的三自由度信号线性解耦。 该激光干涉仪无角度解耦非线性，周期非线性误差显著减小； 与现有的其他三自由度激光干涉仪相比，本实用新型具有结构简单，角度测量范围大，易于集成的优点，满足了三自由度激光干涉仪对位移和角度测量的高精度要求。 |
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