| 跟踪激光干涉仪频率计 |
| JP2009097810 2009-4-14 发明授权 |
| 2013-7-10 |
| 一种跟踪式激光干涉仪包括 : 一透明基准球，其被设置在一固定位置; 一个递归后向反射器提供一可动体上; 一滑架设计成可围绕一个中心旋转的所述基准球; 一长度测量单元固定地设置在所述滑架，包括一种用于往复光学系统之间的一激光束该递归后向反射器和所述基准球和服务之间的距离，以进行一计上的干扰所述递归后向反射器和所述基准球; 一个跟踪位置检测单元固定地设置在所述滑架和服务，以输出一信号对应的一个光的光学轴之间的移位的量，其被入射和反射通过该递归后向反射器上; 和一个控制器，用于控制所述的旋转所述支架上，以使所述的光之间的所述移位的量轴，其是通过所获得的跟踪位置检测单元是零，其中一激光束入射在所述参考该基准球的球被聚焦在所述中心和是通过一球形表面相对的反射到一个所述激光束的入射侧。 |
微信公众号