激光干涉仪
 
US17410798  2021-8-24  发明申请

2022-3-3
 
  一种激光干涉仪,包括发射第一激光的光源, 光调制器,其包括振动器,并通过使用振动器来调制第一激光,以产生包括调制信号的第二激光; 光检测器,其接收第三激光和第二激光之间的干涉光以输出光接收信号,所述第三激光包括通过在物体上反射第一激光而产生的样本信号; 以及光路长度可变部分,其改变第三激光传播通过的光路的光路长度。
 
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