基于双悬臂梁弛豫器的压电单晶加速度计
 
US13169332  2011-6-27  发明授权

2014-8-26
 
  提供了一种基于双悬臂梁弛豫器的压电单晶加速度计。 提供了一种挠曲感测结构,其采用至少两个压电悬臂梁,所述压电悬臂梁的纵轴基本上平行地布置,每个梁包含至少一个基于弛豫器的单晶换能器元件,所述单晶换能器元件的偏振轴基本上垂直于所述梁的纵轴。 一端安装在刚性基座上,另一端可以安装在抗震质量块上或可以是自由的,其中基座受到机械或声学来源的动态激励。 柔性感测结构可任选地封装在粘弹性材料中,该粘弹性材料具有比柔性感测结构大得多的机械柔顺性和损耗。
 
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