激光光束偏转器包括两个反射器
 
GB9013389  1990-6-15  发明申请

1991-1-16
 
  一激光束22,例如从一激光干涉仪,被沿路径A或路径B通过一偏转器偏转24。该偏转器包括两个平面反射镜(140,142,图4),一个其(142)上是可旋转的一个轴绕一轴线垂直于所述光束,以使所述通过其所述光束被偏转的角度的调整。通过保持该所述反射镜的光束和所述表面之间的角度在一角度大于所述角度通过其所述偏转该光束偏转器,所述比较小反射镜(140,142)结合到偏转光束22通过一浅角,否则将需要一个大的单镜。一种后向反射器26所述头上的H可以被定向通过一探针头28,以保证所述光光束22被始终接收通过所述后向反射器26其接受角度内。
 
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