| 可变面积电容结构、梳状栅电容加速度计和梳状栅电容陀螺仪 |
| US13576042 2010-6-23 发明授权 |
| 2015-3-3 |
| 本发明涉及一种用于微机械传感器的变面积电容器、微机械梳状栅电容加速度计和微机械梳状栅电容陀螺仪。 其中，所述变面积电容器结构包括在每个电容器单元中的可动电极和固定电极； 上述可动电极的前表面与上述固定电极的前表面平行； 上述可动电极的前表面为矩形，固定电极的前表面为三角形或锯齿形，或可动电极的前表面为三角形或锯齿形，固定电极的前表面为矩形； 三角形前表面仅与上述矩形前表面的一条长边重叠。 与现有技术相比，本发明的具有变面积电容结构的微机械传感器可以调节弹性系数。 |
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