| 纳米分辨率激光干涉仪 |
| WOEP20065709 2020-6-5 发明申请 |
| 2020-12-10 |
| 一种激光干涉仪，被配置为提供与反射表面相关的位置信息，所述激光干涉仪包括：激光源，光电检测器，信号处理器和光学散焦元件，所述光学散焦元件具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面。 所述激光源被配置为朝向所述光学散焦元件的所述第一表面发射主光束，并且所述光学散焦元件的所述第一表面被配置为(a)将所述主光束的第一部分朝向所述光电检测器反射作为第一反射光束； 以及(b)透射主光束的第二部分，使得主光束穿过光学散焦元件的第二表面朝向反射表面， 在反射表面中反射并作为第二反射光束返回通过光学散焦元件的第二和第一表面朝向光电检测器。 光电检测器被配置为检测第一反射光束和第二反射光束，并产生指示所检测的第一反射光束和第二反射光束的输出信号。 信号处理器被配置为接收指示第一和第二反射光束的输出信号，并确定第一和第二反射光束之间的干涉，从而确定反射表面的位置。 |
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