| 扫描电子显微镜样品固定装置 |
| CN202122574741.9 2021-10-25 实用新型 |
| 2022-4-12 |
| 本实用新型公开了扫描电子显微镜样品固定装置。该固定装置包括：多孔样品台、样品座和固定组件，多孔样品台包括上下布置的凹槽和第一支柱，凹槽内表面的底壁上设有多个固定孔，凹槽的侧壁上设有多个贯穿侧壁的螺孔，第一支柱适于与样品舱匹配相连；样品座包括样品固定平台和多个第二支柱，多个第二支柱设在样品固定平台底部并与固定孔一一对应，样品固定平台上任意两点之间在凹槽底壁上的正投影的距离不大于凹槽的内径；固定组件包括多套配套使用的螺栓和螺母，螺栓与螺孔匹配，螺栓可穿过螺孔并止抵于第二支柱，螺母适于固定螺栓与第二支柱。该装置可以避免检测样品时待测样品易掉落至电镜的真空腔内从而对样品舱及电子枪造成污染的问题。 |
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