| 激光干涉仪 |
| JP2021029749 2021-2-26 发明申请 |
| 2022-9-7 |
| 一种激光干涉仪，包括：光源，被配置为发射第一激光； 一种光调制器，包括振动器并被配置为调制， 通过振动器， 将第一激光转换为具有不同频率的第二激光， 光路切换单元，设置在第一激光行进的第一光路中，并且被配置为在第一光路和不同于第一光路的第二光路之间切换第一激光的行进方向； 反射器，包括：光反射表面，被配置为沿着第二光路移动并反射通过第二光路的第一激光； 以及感光器，被配置为接收第二激光中的第一干涉光和通过第一激光在被测量物体上的反射而产生的第三激光， 以及第二激光和第四激光中的第二干涉光，通过第一激光在光反射表面上的反射而产生，并输出光接收信号。 |
微信公众号