| 一种原子探针设备和透射电子显微镜联用的多样品台 |
| CN202111557558.6 2021-12-19 发明申请 |
| 2022-4-8 |
| 本发明为一种原子探针设备和透射电子显微镜联用的多样品台。样品台包括螺丝锁紧机构和自锁机构两种。其中,螺丝锁紧机构包括圆柱形尾柱,鳄式开口夹和紧固螺丝;自锁机构包括圆柱形尾柱、反向镊子和平头夹板。本发明的样品台优化了纳米针尖试样的装载方式,可以同时装载多根纳米针尖试样,极大提高了利用透射电子显微镜检查纳米针尖试样的工作效率,并保证了纳米针尖在透射电子显微镜和原子探针设备之间转移的安全性。 |