光学轮廓仪
 
US15448701  2017-3-3  发明申请

2017-9-7
 
  一种系统,包括光源和配置成接收和保持用于测量的样品的保持装置。 该系统包括检测器。 光路将光源、存在时的样品和检测器之间的光耦合。 光学物镜被配置成当存在时将来自光源的光耦合到样品,并且将反射光耦合到检测器。 控制器被配置成当存在时自动控制由光学物镜引导到样品的光的聚焦和/或光束路径。 该系统包括位于光路中的空间可变滤波器(SVF)。 SVF被配置为具有作为SVF上的照明位置的函数而变化的光谱特性。
 
仿站