| 一种双路单频激光干涉仪 |
| CN201110006415.6 2011-1-13 发明申请 |
| 2011-9-7 |
| 本发明涉及一种双路单频激光干涉仪，其特征在于：它包括一双频激光头、一偏振分光棱镜和两组相同的单频激光干涉系统；每一组单频激光干涉系统包括两个1/4波片，一个半波片，三个偏振分光棱镜，一个消偏振分光棱镜，两个角反射镜，一个反射镜和四个光电探测器，其中一个角反射镜作为测量镜固定不动，另一角反射镜放置在测量目标上；所述双频激光头发出正交偏振的线偏振光束，经偏振分光棱镜分成两束线偏振光，其中透射的线偏振光入射到第一组单频激光干涉系统中，反射的线偏振光入射到第二组单频激光干涉系统中。本发明可以广泛用于高精度移动台测量定位以及其它高精度长度计量场合。 |
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